快科技10月9日消息,据CNews报道,俄罗斯已完成用于生产130纳米制程光刻机的第三阶段设计验收工作,该阶段验收证书已于2026年8月7日签署。该130nm分辨率光刻机由“泽列诺格勒纳米技术中心”(Zelenograd Nano Tech...