快科技8月28日消息,芯上微装近日宣布,其自主研发的350nm步进投影光刻机AST6200顺利通过国内化合物半导体领域头部客户全流程工艺验证,并斩获批量重复采购订单。从2025年11月首台设备发运到2026年8月获批量订单,仅用时9个月。该...