快科技8月10日消息,国产光刻设备赛道传来重磅利好突破。上海芯上微装科技股份有限公司正式对外宣布,近日公司自主研发的350nm步进投影光刻机(AST6200),已经顺利通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证,并且拿到了批量重复采购...
快科技8月9日消息,毫无疑问,我国正在发力光刻机,而先进制程的7nm工艺早晚会被攻克,目前全产业链都在集体发力。据上海芯上微装科技股份有限公司(简称“芯上微装”或“AMIES”)发布公告,公司昨天举办了第500台步进光刻机交付仪式,这标志着...