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ASML揭秘1.2亿美元一台的EUV光刻机：10万零部件、配送时间两年

zhiyongz 4年前 (2021-03-17) 阅读数 #科学

文章标签 EUV光刻机

荷兰ASML（阿斯麦）是全球唯一的EUV光刻机制造商，中芯国际的7nm工艺虽然已经技术开发完成，但目前卡脖子的最关键一环就是买不到EUV。在最新的媒体交流活动中，ASML技术开发副总裁Tony Yen披露了一些EUV光刻机不为人知的细节。

EUV即极紫外光刻，它是借助13.5nm波长极紫外光在硅晶圆上蚀刻数十亿规模的微缩结构。

按照Yen的说法，当前ASML的EUV光刻机单台售价1.2亿美元(约合7.8亿元)左右，由超过10万个精密零部件组成。

Yen笑着表示，买我们的EUV光刻机可不是今天下单，两天内送达，通常需要两年的时间才能配送到货，发运是需要多达40个集装箱。

据悉，世界上第一台EUV光刻机2010年在三星装配，第二台2011年进驻台积电。谈及摩尔定律，ASML认为至少还能延续10年。

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